除了在已存在的等離子體以外,用人工方法在一定范圍內(nèi)也可以制得等離子體。最早是在1927年,當(dāng)水銀蒸氣在高壓電場中的放電時(shí)由科研人員發(fā)現(xiàn)等離子體。后面的發(fā)現(xiàn)是通過多種形式,如電弧放電、輝光放電、激光、火焰或者沖擊波等,都可以使處于低氣壓狀態(tài)的氣體物質(zhì)轉(zhuǎn)變成等離子體狀態(tài)。
如在高頻電場中處于低氣壓狀態(tài)的氧氣、氮?dú)?、甲烷、水蒸氣等氣體分子在輝光放電的情況下,可以分解出加速運(yùn)動的原子和分子,這樣產(chǎn)生的電子和解離成點(diǎn)有正、負(fù)電荷的原子和分子。這樣產(chǎn)生的電子在電場中加速時(shí)會獲得高能量,并與周圍的分子或原子發(fā)生碰撞,結(jié)果使分子和原子中又激發(fā)出電子,而本身又處于激發(fā)狀態(tài)或離子狀態(tài),這時(shí)物質(zhì)存在的狀態(tài)即為等離子體狀態(tài)。
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