常用的等離子體激發(fā)頻率有三種:激發(fā)頻率為 40kHz的等離子體為超聲等離子體,13.56MHz的等離子體為射頻等離子體,2.45GHz的等離子體為微波等離子體。
不同等離子體產(chǎn)生的自偏壓不一樣,超聲等離子體的自偏壓為1000V左右,射頻等離子體的自偏壓為250V左右,微波等離子體的自偏壓很低,只有幾十伏,三種等離子體的機(jī)制不同。超聲等離子體發(fā)生的反應(yīng)為物理反應(yīng),射頻等離子體發(fā)生的反應(yīng)既有物理反應(yīng)又有化學(xué)反應(yīng),微波等離子體發(fā)生的反應(yīng)為化學(xué)反應(yīng)。但因?yàn)?0KHz為較早的技術(shù),其射頻匹配后能量消耗過(guò)大,實(shí)際作用到清洗物上的能量不足原有能量的1/3。所以實(shí)際應(yīng)用中大多采用13.56MHz射頻等離子體清洗,這個(gè)頻率也是現(xiàn)在國(guó)際上最流行的,價(jià)格也是最高的。
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