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技術(shù)資料

等離子體處理時溫度會不會破壞樣品本身

等離子體是物質(zhì)的第四態(tài),在氣體狀態(tài)接受足夠的能量即可變?yōu)榈入x子體態(tài)
是由帶電粒子(包括離子、電子、離子團)和中性粒子組成的系統(tǒng)。具體地講,等離子體就是一種特殊的電離氣體。需要有足夠的電離度的電離氣體才具有等離子體性質(zhì) ( 電離度 >10-4 )。

 

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