有兩種堿性方法可以使表面帶上特定的化學基團。一種方法是通過PEC V D沉積含有所需官能團的涂層，另一種方法是使現(xiàn)有的官能團產(chǎn)生等離子體并使之能夠結(jié)合在表面上。雖然后面的方法更加簡單，但前者具有更高的表面官能團濃度（10%-20%）。使用氨氣作為原料氣可以在表面上結(jié)合-NH3。甲醇用來結(jié)合羥基，同時使用甲醇和CO2可以提供羧基。不幸的是，沉積這些官能團同時會發(fā)生一些副反應，從而改變主官能團。例如，氨氣等離子體在沉積伯氨基的同時也會沉積季氨、叔胺、腈、亞胺等。這些基團的比例根據(jù)等離子體系統(tǒng)和使用的參數(shù)變化而變化。盡管如此，這種方法也可提供2-8%的所需官能團。